氮化硅是在 19 世紀(jì)中葉被發(fā)現(xiàn)的，但由于其共價(jià)鍵合性質(zhì)，因此并不易于制造。這最初導(dǎo)致了兩種類型的氮化硅的發(fā)展，即反應(yīng)鍵合氮化硅 (RBSN) 和熱壓氮化硅 (HPSN)。隨后，自 1970 年代以來又開發(fā)了兩種類型：燒結(jié)氮化硅 (SSN)，包括賽隆，以及燒結(jié)反應(yīng)鍵合氮化硅 (SRBSN)。